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上海云望真空機(jī)械有限公司
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無油式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及安裝維護(hù)注意點(diǎn) 清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點(diǎn): ①.無油,無摩擦——真空腔內(nèi)無油,非接觸,無磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空; ②.抽氣量大——雙渦旋盤,結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源; ③.抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低; ④.非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動(dòng)?。? ⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊,相同尺寸下,運(yùn)動(dòng)半徑小,運(yùn)行平穩(wěn); ⑥.體積小,維修方便,維護(hù)費(fèi)用低; ⑦.采用空氣冷卻,無需水冷。 無油渦旋真空泵應(yīng)用在 ①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; ②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器; ③.機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純?cè)O(shè)備; ④.化學(xué)工業(yè); ⑤.醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備; ⑥.包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。 無油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成: ①.動(dòng)靜渦旋盤付與基座; ②.曲軸; ③.密封墊; ④.防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu); ⑤.電機(jī)。 無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交*組裝在一 起,兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180。相位差,這樣結(jié)合組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對(duì)稱的幾對(duì)月牙腔,動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng),使靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面 移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級(jí)無油渦旋真空泵中,有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的靜渦旋盤,一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的動(dòng)渦旋盤。
下面以普通旋片真空泵為例,說明其差別: 無油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括: ①.密封性良好,沒有向機(jī)械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達(dá)到較高的真空度; ②.回轉(zhuǎn)半徑小,動(dòng)靜渦旋盤相對(duì)滑動(dòng)速度僅為旋片真空泵的1/7左右,動(dòng)靜渦旋盤之間的動(dòng)密封相對(duì)容易,有利于延長泵的使用壽命; ③壓縮進(jìn)程必較緩慢,有2個(gè)或者3個(gè)壓縮過程同時(shí)進(jìn)行,壓縮腔相對(duì)曲軸對(duì)稱,這樣泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程平穩(wěn)、驅(qū)動(dòng)力矩和氣體沖擊波動(dòng)小,使泵的噪音和振動(dòng)降低。 總而言之,無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡單、具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速,工作壓力范圍寬;動(dòng)靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少,由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小,功率變化小,振動(dòng)噪聲低,可*性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。 由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問題給用戶造成不良影響,如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真 空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中,在20~40Pa真空條件下鍍膜時(shí),如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵將對(duì)鍍膜工藝設(shè)備造成污染,影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體 晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比,成品率存在明顯的差距,并且排出的油霧蒸汽對(duì)環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè),采用油泵對(duì) 測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的 環(huán)境污染與煩惱?,F(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性。