干式真空泵使工作容積中無(wú)油，因而帶來(lái)了不少好處。首先，它加強(qiáng)了泵的牢靠性。干式泵不像油密封泵那樣遭到水蒸氣或者塵粒的影響，因而它們更耐用，所需的維護(hù)工作更少。減少用油量還意味著減少了認(rèn)真處置油而破費(fèi)的本錢。運(yùn)用干式真空泵還使可能的污染減到較小水平，這種污染既可能呈現(xiàn)在油里——影響了泵的性能，也可能呈現(xiàn)在某些極端的狀況下 

　　目前，真空行業(yè)運(yùn)用的大多數(shù)干式真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充任泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、光滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的開展以及真空應(yīng)用范疇的擴(kuò)展，原有的干式真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)呈現(xiàn)了兩個(gè)急需處理問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多狀況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)本錢。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反響物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重蛻變，使泵不能正常工作。

　　關(guān)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)避免返流，但不能徹底處理問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而運(yùn)用恰當(dāng)型式的干式真空泵，則能夠到達(dá)理想的運(yùn)用效果。

　　干式真空泵的應(yīng)用是普遍的，主要有以下幾個(gè)方面：

　　1)低壓化學(xué)氣相堆積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些消費(fèi)工藝中常常用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵能夠滿足請(qǐng)求；

　　4)用做普通無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以避免油污染；

　　5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食　品工業(yè)中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等，要避免有機(jī)溶劑形成污染，合適用干式真空泵。