無油真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e氣體輸送泵，無油真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感，廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

發(fā)展無油真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。

在我國真空泵市場上，外國企業(yè)的進入與成功已成為不可爭辯的事實，日本真空各地布點，德國萊寶在中國擴建，美國泰悉爾集團、韓國優(yōu)成等國際著名廠家也紛紛尋找伙伴在中國建制造基地。他們的胃口很大，勢有鯨吞真空泵市場之勢。近 年來，國內(nèi)雖然有一些企業(yè)逐漸崛起，在真空泵市場上占據(jù)了較為先的地位，但是多數(shù)企業(yè)研發(fā)能力差，與國外同行相比，高端產(chǎn)品在技術(shù)上仍處于劣勢。

特點：

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

結(jié)構(gòu)：

(1)泵總體結(jié)構(gòu)型式

無油真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。

泵的單價和真空度指標密切相關(guān)。真空度指標是各國出產(chǎn)商發(fā)奮追求的重要指標，它襯映了相應(yīng)的機器拋光、密封技能、材料科學(xué)等方面的群體實力，也是出產(chǎn)商獲得產(chǎn)值的關(guān)鍵慣技。要調(diào)動真空度指標，就必需有更高的密封前提，所以就需求引用比例更精確、材料機能更優(yōu)秀的零器件，於是出產(chǎn)成本就大輻度調(diào)動了。而并且單價的增幅遠弘遠于真空度指標的增幅。果然，抽氣速率的調(diào)動也會產(chǎn)生單價的攀升，但其增幅不大。所以，挑選小型真空泵時需求認真法定真空度指標，其次是抽氣速率，這樣才氣最好地兼顧采用機能和成本。 工業(yè)上有各樣各色的真空泵，鑒于各樣泵的機能都有規(guī)定的測驗方式來撿驗，重要系數(shù)有：

1、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時日內(nèi)流過的氣態(tài)體積。

2、極限真空（通常名為真空度）：將真空泵與撿測容器相連，放入待測的氣態(tài)后，開展長時日接連抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣態(tài)壓力不再降低而維系某必定值時，此壓力名為泵的極限真空。該值越小則說明越近乎理論真空。