真空：是指在給定的空間內(nèi)，壓力低于101325Pa的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來(lái)表示，該壓力值越小則表示氣體越稀薄。工業(yè)上有各種各樣的真空泵，對(duì)于各種泵的性能都有規(guī)定的測(cè)試方法來(lái)檢驗(yàn)，主要參數(shù)有：

1、抽氣速率:在真空泵的吸氣口處，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)的氣體體積。傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤(rùn)滑機(jī)油，介質(zhì)氣體內(nèi)會(huì)含有大量油霧。

2、極限真空(通常稱為真空度) ：將真空泵與檢測(cè)容器相連，放入待測(cè)的氣體后，進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣體壓力不再下降而維持某一定值時(shí)，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。